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氣體傳感器有哪些分類及作用

發(fā)布時間:2023-05-11 18:00:28人氣:

氣體傳感器可以實時檢測和分析各種氣體,具有靈敏度高、響應(yīng)時間短的優(yōu)點;隨著微電子、微加工技術(shù)、自動化和智能化技術(shù)的快速發(fā)展,氣體傳感器變得更小、更便宜、更易于使用,因此在軍事、醫(yī)療、交通、環(huán)保、質(zhì)檢、防偽、家居等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。下面小編帶大家簡單了解一下氣體傳感器有哪些分類及作用。


1 半導體氣體傳感器


半導體氣體傳感器分為金屬氧化物半導體氣體傳感器和有機半導體氣體傳感器。


(1)金屬氧化物半導體氣體傳感器


金屬氧化物半導體傳感器又可分為電阻式和非電阻式兩種。


(2)電阻式金屬氧化物半導體傳感器


采用薄膜技術(shù)和集成電路技術(shù)把加熱元件、溫度傳感器、叉指電極、氣體敏感膜集成在硅寸底上制成了比常規(guī)的多晶膜高的多得的氣敏元件,并且結(jié)構(gòu)簡單、制作方便,可以根據(jù)被測氣體選擇不同的敏感膜,使得該類傳感器成為很有發(fā)展前景的新型半導體氣體傳感器


(3)非電阻式金屬氧化物半導體氣體傳感器


采用YSZ作MOS場效應(yīng)晶體管的柵極,Pt作金屬柵可制成氧氣敏場效應(yīng)管型氣體傳感器


(4)有機半導體氣體傳感器


有機半導體材料由于其易操作性、工藝簡單、常溫選擇性好、價格低廉,易與微結(jié)構(gòu)傳感器相結(jié)合, 并且可以根據(jù)功能需要進行分子設(shè)計和合成等諸多優(yōu)點越來越受到國內(nèi)外研究人員的重視。



2 固體電解質(zhì)氣體傳感器


這種傳感器在一定溫度下電導率高、靈敏度和選擇性好,所以在冶金石化、能源環(huán)保和宇航交通等各領(lǐng)域均得到了廣泛的應(yīng)用。該類傳感器的特點是氣敏材料中吸附待測氣體派生的離子與電解質(zhì)中的移動離子相同,原理簡單。


3 接觸燃燒式氣體傳感器


該種氣體傳感器的優(yōu)點是對氣體選擇性好,受溫度和濕度影響小,響應(yīng)快,已經(jīng)被廣泛應(yīng)用在石油化工廠、礦井、浴室和廚房等處。


4 光學式氣體傳感器


光學式氣體傳感器主要以光譜吸收型為主。原理是:不同的氣體物質(zhì)由于其分子結(jié)構(gòu)不同、濃度不同和能量分布的差異而有各自不同的吸收光譜。光學式氣體傳感器還包括熒光型、光纖化學材料型等類型。


5 石英諧振式氣體傳感器


石英諧振式氣敏元件由石英基片、金電極和支架三部分組成。該傳感器結(jié)構(gòu)簡單、靈敏高,但只能使用在室溫下工作的氣體敏感膜。


6 表面聲波氣體傳感器


表面聲波氣體傳感器發(fā)展的歷史很短,可謂是后起之秀。盡管在實用化方面還存在許多問題,但它符合信號系統(tǒng)數(shù)字化、集成化、高精度的方向,因此倍受世界上許多國家的高度重視。目前研究的該類氣體傳感器大多采用有機膜來做氣敏材料,主要有聚異丁烯、氟聚多元醇等


7 氣體傳感器的發(fā)展方向


氣體傳感器的智能化生產(chǎn)和生活日新月異的發(fā)展對氣體傳感器提出了更高的要求,氣體傳感器智能化是其發(fā)展的必由之路。智能氣體傳感器將在充分利用微機械與微電子技術(shù)、計算機技術(shù)、信號處理技術(shù)、電路與系統(tǒng)、傳感技術(shù)、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)技術(shù)、模糊理論等多學科綜合技術(shù)的基礎(chǔ)上得到發(fā)展。


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