振動(dòng)傳感器的種類很多,根據(jù)工作原理的不同,可以分為渦流振動(dòng)傳感器、電感振動(dòng)傳感器、電容振動(dòng)傳感器、壓電振動(dòng)傳感器和電阻應(yīng)變振動(dòng)傳感器。以下是這些振動(dòng)傳感器的分類,工作原理和用途。
1.電渦流式振動(dòng)傳感器
電渦流式振動(dòng)傳感器是一種基于渦流效應(yīng)的振動(dòng)傳感器,屬于非接觸式傳感器。渦流振動(dòng)傳感器通過傳感器末端與被測(cè)物體之間距離的變化來測(cè)量物體的振動(dòng)參數(shù)。渦流振動(dòng)傳感器主要用于測(cè)量振動(dòng)位移。
2.電感式振動(dòng)傳感器
電感式振動(dòng)傳感器是根據(jù)電磁感應(yīng)原理設(shè)計(jì)的一種振動(dòng)傳感器。感應(yīng)式振動(dòng)傳感器配有磁鐵和導(dǎo)磁體,在測(cè)量物體振動(dòng)時(shí),可以將機(jī)械振動(dòng)參數(shù)轉(zhuǎn)換成電參數(shù)信號(hào)。電感式振動(dòng)傳感器可用于測(cè)量振動(dòng)速度、加速度等參數(shù)。
3.電容式振動(dòng)傳感器
電容式振動(dòng)傳感器通過改變間隙或公共面積獲得可變電容,然后測(cè)量電容得到機(jī)械振動(dòng)參數(shù)。電容式振動(dòng)傳感器可分為兩種類型:可變間隙型和可變公共面積型。前者可用于測(cè)量線性振動(dòng)位移,后者可用于測(cè)量扭轉(zhuǎn)振動(dòng)的角位移。
4.壓電式振動(dòng)傳感器
壓電式振動(dòng)傳感器利用晶體的壓電效應(yīng)完成振動(dòng)測(cè)量。當(dāng)被測(cè)物體的振動(dòng)對(duì)壓電振動(dòng)傳感器施加壓力時(shí),晶體元件會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的電荷,電荷數(shù)可以轉(zhuǎn)化為振動(dòng)參數(shù)。壓電振動(dòng)傳感器也可以分為壓電加速度傳感器、壓電力傳感器和阻抗頭。
5.電阻應(yīng)變式振動(dòng)傳感器
電阻應(yīng)變式振動(dòng)傳感器是一種通過電阻的變化來表達(dá)被測(cè)物體機(jī)械振動(dòng)的振動(dòng)傳感器。電阻應(yīng)變式振動(dòng)傳感器有多種實(shí)現(xiàn)方式,可以使用各種傳感元件,其中最常見的是電阻應(yīng)變式振動(dòng)傳感器