壓力傳感器是一種能夠感知壓力信號,并按照一定的規(guī)則將壓力信號轉換成可用的輸出電信號的裝置。壓力傳感器通常由壓敏元件和信號處理單元組成。根據(jù)試驗壓力的不同類型,壓力傳感器可分為藍寶石壓力傳感器、擴散硅壓力傳感器、表壓傳感器、差壓傳感器和絕對壓力傳感器。其中比較少見的藍寶石壓力傳感器和擴散硅壓力傳感器工作原理的含義由下文解釋
藍寶石壓力傳感器:
最初使用應變電阻,使用硅藍寶石作為半導體敏感元件,藍寶石壓力傳感器具有無與倫比的測量特性。傳感器電路可以保證應變橋電路的供電。它還可以將應變橋的不平衡信號轉換成統(tǒng)一的電信號輸出。在絕壓傳感器和變送器中,藍寶石片與陶瓷基玻璃焊料連接,起到彈性元件的作用。它將被測壓力轉化為應變片變形,從而達到壓力測量的目的。因此,由硅藍寶石制成的半導體敏感元件對溫度變化不敏感。即使在高溫條件下也具有很好的工作能力;藍寶石具有很強的抗輻射性。
擴散硅壓力傳感器:
擴散硅壓力傳感器的工作原理也是基于壓阻效應。利用壓阻效應原理,被測介質的壓力直接作用于傳感器的膜片(不銹鋼或陶瓷)。因此隔膜產(chǎn)生與介質壓力成正比的微位移。并且傳感器的電阻值也會發(fā)生變化。擴散硅壓力傳感器使用電子電路來檢測這種變化。它們轉換并輸出與該壓力相對應的標準測量信號。