在壓阻式壓力傳感器中,測量安裝在隔膜上的一個或多個電阻器的電阻變化。電阻的變化與膜片上的壓力引起的應(yīng)變成正比。電阻器連接在惠斯通電橋電路中,這是一種將微小變化轉(zhuǎn)換為輸出電壓的非常靈敏的方式。
壓阻式壓力傳感器是最早和使用最廣泛的壓力傳感器類型。簡單的結(jié)構(gòu)意味著低成本和耐用性。傳感器堅(jiān)固耐用,具有良好的抗沖擊、振動和動態(tài)壓力變化能力。讀出電路非常簡單,可以進(jìn)行高分辨率測量。輸出與壓力呈線性關(guān)系,響應(yīng)時(shí)間通常低于1毫秒。
它們可用于從3 psi到大約20,000 psi(21 kPa到150 MPa)的廣泛壓力測量。隨著時(shí)間的推移,輸出也很穩(wěn)定。電阻元件可以結(jié)合到隔膜上。這是一種已經(jīng)使用了很長時(shí)間的標(biāo)準(zhǔn)技術(shù),但粘合劑在高溫和超壓下可能會出現(xiàn)問題?;蛘?,可以直接在膜上創(chuàng)建薄膜電阻器。這些可以在更高的溫度下運(yùn)行,更適合在惡劣的環(huán)境中使用。
主要缺點(diǎn)是必須為傳感器供電。這使得它們不適合低功率或電池供電的系統(tǒng)??s小尺寸會降低電阻并增加功耗。縮放也有限制,因?yàn)閼?yīng)變平均會降低傳感器的靈敏度。然而,可以將非常小的傳感器制造為MEMS器件。
傳感器輸出與溫度有關(guān)。這對于諸如輪胎壓力測量等在工作周期內(nèi)溫度變化較大的應(yīng)用來說可能是一個很大的缺點(diǎn)。硅應(yīng)變計(jì)更加靈敏,可以測量低至2 kPa的壓力。結(jié)漏電流會降低MEMS器件的精度。這可以通過使用絕緣體上硅(SoI)技術(shù)來緩解,但這會增加成本。