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硅壓力傳感器重要性能,提高傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性

發(fā)布時(shí)間:2023-05-11 18:06:32人氣:

 長(zhǎng)期穩(wěn)定性是決定壓力傳感器整體測(cè)量精度的最重要參數(shù)之一。壓力傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性由傳感器校準(zhǔn)間隔期間零值和量程值的最大可接受變化定義。簡(jiǎn)而言之,要使傳感器被認(rèn)為是穩(wěn)定的,它應(yīng)該在校準(zhǔn)間隔內(nèi)保持非常低的測(cè)量漂移。


 有多種因素會(huì)影響壓力傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性,尤其是對(duì)于硅壓力傳感器-傳感器芯片、機(jī)械應(yīng)力、環(huán)境條件等。此外,由于傳感器被封裝并轉(zhuǎn)換為換能器,電子設(shè)計(jì)和封裝等過(guò)程增加了換能器的整體漂移。精密硅壓力傳感器進(jìn)一步放大了這個(gè)問(wèn)題,其中誤差范圍非常有限。


 提高這些傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性涉及了解各種漂移引起的因素并對(duì)這些過(guò)程進(jìn)行更正或調(diào)整:


 1.傳感器元件傳感器元件和各種子組件(如硅和隔離膜片)的制造質(zhì)量會(huì)影響穩(wěn)定性以及增加機(jī)械應(yīng)力的安裝組件。


 2.電子器件在傳感器中集成和轉(zhuǎn)換傳感器輸出的過(guò)程需要帶有關(guān)鍵組件的電子器件,這些組件會(huì)由于分辨率、溫度效應(yīng)和設(shè)計(jì)引起的應(yīng)力效應(yīng)而導(dǎo)致輸出漂移。


 3.固件傳感器內(nèi)部的表征過(guò)程決定了它在不同溫度下的性能,并決定了壓力輸出。


 4.制造過(guò)程壓力傳感器的制造過(guò)程涉及壓力參考標(biāo)準(zhǔn)和確定過(guò)程參考不確定性的表征室。


 為了提高和保持硅傳感器的穩(wěn)定性,必須找到優(yōu)質(zhì)壓力傳感器并調(diào)整制造工藝、電子設(shè)備和固件以獲得所需的穩(wěn)定輸出。


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