擴散硅壓力傳感器是利用壓阻效應原理,采用集成工藝技術,通過摻雜和擴散,沿單晶硅晶片上的特征晶體取向,形成抗應變性,形成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學性能,并在相同的硅材料上進行各向異性微加工,制成了一種結合了力靈敏度和力-電轉換檢測功能的擴散硅壓力傳感器。
擴散硅壓力傳感器:選擇說明類型
1.傳感器和變送器的選擇
根據所測壓力的性質,用戶應首先確定表壓(相對于當地大氣壓),壓差,壓力或負壓的選擇。如果測量液位,則還必須確定液位是高于自由大氣壓還是高于密封容器的壓力。如果測量密封壓力容器中的液位,則應使用差壓產品。
2.確定產品范圍
從產品安全的角度考慮,通常最好在標準范圍值的60%-80%之內選擇工作壓力值。由整個測量系統(tǒng)中可能發(fā)生的異常情況引起的過載壓力不得超過產品允許的最大過載。在測量動態(tài)管道的液體壓力時,還應考慮水流下垂的影響,并適當增加產品負荷。
3.產品精度選擇
產品等級根據多個參數進行分類。等級越高,價格越貴。用戶可以根據檢測到的工作條件要求每個參數精度指標,從而以較低的價格實現更高的精度要求。產品給出的三個精度指標是使用國際最小二乘法或端基轉換法計算的。選擇傳感器時,應根據測量系統(tǒng)分配給傳感器的最大誤差選項確定精度等級。有時還應考慮零時漂移,零和滿量程溫度系數帶來的附加誤差。
4.選擇產品的溫度范圍
組裝電路后,某些系列的變送器具有集成的溫度補償。補償范圍已在各個產品介紹中標出。對于使用寬溫度范圍并要求較高總精度的用戶,也可以使用軟件在輔助儀器數據處理中執(zhí)行溫度誤差校正。如果在補償區(qū)域之外使用,溫度系數指數可能會超出標準,但仍可以使用。在溫度限制區(qū)域中長期工作將大大縮短產品壽命。
5.壓差傳感器和變送器的選擇
當高壓端壓力高于低壓端壓力時,通常使用通用壓差傳感器和變送器。盡管擴散硅傳感器也可以用于負壓差,但通常兩個壓力導入端基本對稱,但負壓通常沒有單獨的校準端。如果用戶要求兩個壓力端高度對稱,則需要特別通知。低壓端用于系統(tǒng)中可能出現的超負范圍。
6.頻率響應特性
擴散硅壓力傳感器的固有頻率高于其他產品。另外,更多的情況是傳感器結構的壓力室的結構參數和傳感器結構的剛體的尺寸的影響。后者不能是無限的,所以主要它仍然受壓力室的影響。
7.與被測介質匹配
傳感器,變送器接口和電子外殼由多種不同的結構材料制成。它具有不同的媒體兼容性。為了獲得最佳使用效果,不會因介質不匹配而損壞產品。用戶在選擇和訂購時應了解介質的準確名稱,濃度和溫度。
擴散硅壓力傳感器:產品安裝和使用注意事項
在安裝和拆卸螺紋產品時,必須使用扳手來擰緊六向操作。在安裝過程中,請勿過度擰緊。嚴禁夾緊和拆卸其他零件,以免損壞相關的連接零件。請勿將尖銳或堅硬的物體插入壓力孔的末端,以免損壞敏感膜或隔離膜,并且嚴禁撞擊,碰撞或掉落。
擴散硅傳感器的零輸出不能通過單臂電阻法直接消除,而可以通過軟件零法,差分輸入微調法,T型電阻網絡校正等來消除。