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光電傳感器應(yīng)用在硅片和晶圓凸出檢測的效果

發(fā)布時間:2023-05-11 17:48:55人氣:

  激光光電傳感器在電子制造業(yè)中的實際應(yīng)用中,您經(jīng)常遇到這樣的挑戰(zhàn):例如,檢測到的目標(biāo)很小,但是為傳感器提供的安裝空間非常有限。 過去,光纖傳感器可能是現(xiàn)場工程師的無奈之選。 光纖頭需要配備放大器,檢測小物體時,整個解決方案的成本急劇上升。 另外,以后的產(chǎn)品安裝和調(diào)試將很復(fù)雜,并且存在考慮光纖的彎曲半徑以避免斷裂的安裝問題。 它也使現(xiàn)場用戶煩惱。


  如今,倍加福專為此類應(yīng)用難題,推出R2/R3系列扁平型激光光電傳感器憑借其小巧的外形,小光斑,高精度,簡單易用等優(yōu)勢,大大為用戶提高了檢測可靠性及生產(chǎn)效率,同時,也減輕了用戶對于安裝調(diào)試的后顧之憂。

激光光電傳感器

  光電傳感器應(yīng)用一:硅片計數(shù)


  光伏硅片追溯成為越來越多設(shè)備商的明確需求,除了在上料時進行計數(shù),還需進一步確認花籃內(nèi)硅片的數(shù)量,從而提高追溯的準確率。硅片追溯系統(tǒng)當(dāng)然離不開RFID,倍加福提供一整套追溯方案,IO-Link接口的RFID+IO-Link主站模塊。


  當(dāng)被檢測的硅片較薄,其厚度僅約0.16mm時,倍加福微型OBE500-R3F-L激光傳感器,以其極小的光斑配合Teach功能,可靠實現(xiàn)花籃內(nèi)硅片的計數(shù)。即使在配合機械移動過程中檢測,也一樣出類拔萃。R3F微型激光對射采用DuraBeam技術(shù),光斑清晰可見便于安裝時對齊。

光電傳感器應(yīng)用

  光電傳感器應(yīng)用二:晶圓凸出檢測


  中國已成為世界上芯片加工處理大國,并正大力投資發(fā)展本國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),倍加福面臨更多的機遇及挑戰(zhàn)。例如,在晶圓制造與封裝測試工藝,針對晶圓有無檢測或晶圓凸出檢測應(yīng)用,又是倍加福微型激光對射型傳感器大展身手的另一絕佳戰(zhàn)場。


  憑借該款產(chǎn)品3mm 500mm的激光光斑,可檢測毫米級的凸出,使用Teach-In功能可進一步提升靈敏度或?qū)崿F(xiàn)更細微的凸出檢測。R3F激光對射用作晶圓凸出檢測,可謂明察秋毫。此外,該產(chǎn)品為扁平型,安裝簡單,可省略支架。

光電傳感器應(yīng)用

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