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MEMS振動(dòng)傳感器濾波器原理,MEMS氣體質(zhì)量流量計(jì)領(lǐng)域應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間:2024-03-07 17:56:34人氣:

 MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng),是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。與傳統(tǒng)的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。同時(shí),在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。


 1、MEMS氣體流量傳感器:高精度,檢測流量范圍廣,適用于各種需求的流量計(jì)測。2、MEMS壓力傳感器:性能偏差小的MEMS壓力傳感器。3、MEMS非接觸溫度傳感器:對靜止人體也能檢測,高靈敏度的人體感應(yīng)傳感器。4、MEMS開關(guān):高頻,小型,長壽命的MEMS開關(guān)。中國在MEMS傳感器領(lǐng)域的研究較晚,但已經(jīng)成為不可或缺的力量,中國的部分專利權(quán)的創(chuàng)新主體協(xié)同格局前提下,加大科技資金投入不但可以消解技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展中的資金阻滯,又有助于引導(dǎo)企業(yè)或單位技術(shù)創(chuàng)新意識,從而提高我國創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)效率,促進(jìn)經(jīng)濟(jì)快速而穩(wěn)健的發(fā)展。


 產(chǎn)品原理MEMS氣體質(zhì)量流量計(jì)采用具有自主知識產(chǎn)權(quán)的MEMS芯片作為傳感器核心部件,當(dāng)沒有氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時(shí),傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場(溫度分布),當(dāng)氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時(shí),溫度場因?yàn)榱黧w介質(zhì)帶走熱量導(dǎo)致局部溫度重新分布。局部溫度場的變化量取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進(jìn)行測量,通過校準(zhǔn),專門設(shè)計(jì)的信號處理電路和智能控制軟件可精確測量實(shí)際的介質(zhì)質(zhì)量流量.


 自成立一直用的就是賽亞的MEMS傳感器,對于客戶的安全我們是非常重視的,由于塞亞是國內(nèi)領(lǐng)先的MEMS煙霧氣體傳感器制造商,運(yùn)用MEMS熱電堆芯片,精度和靈敏度都大大的高,在芯片技術(shù)、MEMS封裝等方面都很適合我們,而且產(chǎn)品體積小、功耗低、靈敏度高、精度高,用了很多年了,至今沒出現(xiàn)過問題的。

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