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MEMS傳感器的應(yīng)用是什么,MEMS壓力傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域

發(fā)布時間:2024-03-07 15:16:01人氣:

 MEMS傳感器的應(yīng)用目前主要應(yīng)用在航空航天、汽車、消費電子等領(lǐng)域。航空航天領(lǐng)域中的MEMS傳感器主要有五種用途:①提供有關(guān)航天器的工作信息,起故障診斷的作用;②判斷各分系統(tǒng)間工作的協(xié)調(diào)性,驗證設(shè)計方案;③提供全系統(tǒng)自檢所需信息,給指揮員決策提供依據(jù);④提供各分系統(tǒng)、整機內(nèi)部檢測參數(shù),驗證設(shè)計的正確性。⑤監(jiān)測飛行器內(nèi)外部的環(huán)境,為飛行員航天員提供所需的生存條件,保障正常飛行參數(shù)。


 在汽車應(yīng)用中,用到越來越多的MEMS傳感器,包括安全氣囊中的汽車安全氣囊感應(yīng)器、懸架控制、翻滾等。另外,還包括汽車MEMS壓力傳感器和輪胎氣壓自動監(jiān)測系統(tǒng),MEMS壓力傳感器適合于任何類型的輪胎,在輪胎胎壁埋設(shè)一小塊感壓力敏芯片,自動測量輪胎氣壓、溫度、轉(zhuǎn)速和其它一些數(shù)據(jù),并用特定的代碼發(fā)送出來。還有汽車導航中的GPS信號補償、氣缸內(nèi)壓力測量等等大多數(shù)汽車子系統(tǒng)中。


 MEMS傳感器慣性器件(加速度計、陀螺儀、磁傳感器)主要用于消費電子,如智能手機、平板電腦。MEMS壓力傳感器主要用于汽車電子,如胎壓監(jiān)測。加速度計也常用于汽車電子,如安全氣囊。MEMS微鏡用于光纖通信、微投影儀。微流控器件可用于食品檢測。


 MEMS傳感器器件在民用領(lǐng)域也有重要的應(yīng)用:全新功能的微型機器人,能在惡劣環(huán)境或狹小空間作業(yè),如人體內(nèi)的微型手術(shù),核電站裝置的精密維修,航天、航空飛機的維修等;小型精密分析機械,例如掃描隧穿顯微鏡的探針運動控制,光盤機的光學讀頭等;生物微電子機械系統(tǒng)應(yīng)用于基因檢測和蛋白質(zhì)檢測等生命科學技術(shù),可以極大地提高檢測速度和準確度。MEMS在軍民兩方面的應(yīng)用前景,無疑將極大地拓寬人類的活動范圍和能力,帶來巨大的社會和經(jīng)濟效益。

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