MEMS傳感器的應(yīng)用目前主要應(yīng)用在航空航天、汽車、消費電子等領(lǐng)域。航空航天領(lǐng)域中的MEMS傳感器主要有五種用途：①提供有關(guān)航天器的工作信息，起故障診斷的作用；②判斷各分系統(tǒng)間工作的協(xié)調(diào)性，驗證設(shè)計方案；③提供全系統(tǒng)自檢所需信息，給指揮員決策提供依據(jù)；④提供各分系統(tǒng)、整機內(nèi)部檢測參數(shù)，驗證設(shè)計的正確性。⑤監(jiān)測飛行器內(nèi)外部的環(huán)境，為飛行員航天員提供所需的生存條件，保障正常飛行參數(shù)。

　在汽車應(yīng)用中，用到越來越多的MEMS傳感器，包括安全氣囊中的汽車安全氣囊感應(yīng)器、懸架控制、翻滾等。另外，還包括汽車MEMS壓力傳感器和輪胎氣壓自動監(jiān)測系統(tǒng)，MEMS壓力傳感器適合于任何類型的輪胎，在輪胎胎壁埋設(shè)一小塊感壓力敏芯片，自動測量輪胎氣壓、溫度、轉(zhuǎn)速和其它一些數(shù)據(jù)，并用特定的代碼發(fā)送出來。還有汽車導航中的GPS信號補償、氣缸內(nèi)壓力測量等等大多數(shù)汽車子系統(tǒng)中。

　MEMS傳感器慣性器件（加速度計、陀螺儀、磁傳感器）主要用于消費電子，如智能手機、平板電腦。MEMS壓力傳感器主要用于汽車電子，如胎壓監(jiān)測。加速度計也常用于汽車電子，如安全氣囊。MEMS微鏡用于光纖通信、微投影儀。微流控器件可用于食品檢測。

　MEMS傳感器器件在民用領(lǐng)域也有重要的應(yīng)用：全新功能的微型機器人，能在惡劣環(huán)境或狹小空間作業(yè)，如人體內(nèi)的微型手術(shù)，核電站裝置的精密維修，航天、航空飛機的維修等；小型精密分析機械，例如掃描隧穿顯微鏡的探針運動控制，光盤機的光學讀頭等；生物微電子機械系統(tǒng)應(yīng)用于基因檢測和蛋白質(zhì)檢測等生命科學技術(shù)，可以極大地提高檢測速度和準確度。MEMS在軍民兩方面的應(yīng)用前景，無疑將極大地拓寬人類的活動范圍和能力，帶來巨大的社會和經(jīng)濟效益。