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壓電傳感器前置放大器的兩種形式你選哪種?

發(fā)布時(shí)間:2024-03-18 16:38:27人氣:

 以壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源,專(zhuān)為帶載物鏡做納米級(jí)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)的壓電位移臺(tái),稱(chēng)之為壓電物鏡步進(jìn)器。壓電物鏡步進(jìn)器是專(zhuān)門(mén)為物鏡聚焦顯微而設(shè)計(jì)的,采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì),物鏡補(bǔ)償量較小,具有超高聚焦穩(wěn)定性,物鏡步進(jìn)器裝入顯微檢測(cè)/測(cè)量或者觀測(cè)裝置可以帶動(dòng)鏡片聚焦提高精度,可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。芯明天壓電物鏡步進(jìn)器類(lèi)別:1、P72:運(yùn)動(dòng)自由度Z;位移110μm;分辨率2.5nm;諧振頻率0.35kHz;大承載0.2kg   2、P73:運(yùn)動(dòng)自由度Z;位移220-550μm;分辨率5-7nm;諧振頻率0.17-0.28kHz;大承載0.2-0.4kg   3、XP-721:運(yùn)動(dòng)自由度Z…


 前置放大器也有兩種形式:電壓放大器和電荷放大器。電壓放大器的輸入電壓與連接線路的分布電容Cc有關(guān),當(dāng)連接線路的長(zhǎng)度改變時(shí),分布電容Cc隨之改變,輸入電壓Ui也隨之改變,所以壓電傳感器放大器之間的連接線路不能隨意更換,否則影響測(cè)量結(jié)果。電荷放大器的輸出與分布電容無(wú)關(guān),只取決于輸入電荷和反饋電容,且與q成正比,與分布電容無(wú)關(guān),因此可以進(jìn)行遠(yuǎn)距離測(cè)量,并且連接線的分布電容變化也不影響靈敏度,這是電荷放大器的最大特點(diǎn)。

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