以壓電陶瓷為驅(qū)動源，專為帶載物鏡做納米級步進(jìn)運動的壓電位移臺，稱之為壓電物鏡步進(jìn)器。壓電物鏡步進(jìn)器是專門為物鏡聚焦顯微而設(shè)計的，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計，物鏡補償量較小，具有超高聚焦穩(wěn)定性，物鏡步進(jìn)器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動鏡片聚焦提高精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。芯明天壓電物鏡步進(jìn)器類別：1、P72：運動自由度Z；位移110μm；分辨率2.5nm；諧振頻率0.35kHz；大承載0.2kg   2、P73：運動自由度Z；位移220-550μm；分辨率5-7nm；諧振頻率0.17-0.28kHz；大承載0.2-0.4kg   3、XP-721：運動自由度Z…

　前置放大器也有兩種形式：電壓放大器和電荷放大器。電壓放大器的輸入電壓與連接線路的分布電容Cc有關(guān)，當(dāng)連接線路的長度改變時，分布電容Cc隨之改變，輸入電壓Ui也隨之改變，所以壓電傳感器放大器之間的連接線路不能隨意更換，否則影響測量結(jié)果。電荷放大器的輸出與分布電容無關(guān)，只取決于輸入電荷和反饋電容，且與q成正比，與分布電容無關(guān)，因此可以進(jìn)行遠(yuǎn)距離測量，并且連接線的分布電容變化也不影響靈敏度，這是電荷放大器的最大特點。