用于光學(xué)移相作用的壓電掃描臺、壓電陶瓷促動器，稱之為壓電式移相器。天壓電式移相器產(chǎn)品分類：直驅(qū)機構(gòu)P77系列壓電式移相器：位移7-20μm；大承載5-15kgP77系列壓電式移相器為一維Z軸運動平臺，壓電陶瓷直驅(qū)機構(gòu)，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可以實現(xiàn)Z軸20μm的位移行程，無摩擦柔性導(dǎo)向機構(gòu)具有超高的分辨率，閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級。

　因壓電式傳感器的輸出電阻很大、電荷量很小;普通放大器輸入電阻較小,不能直接放大;阻抗變換器具有輸入阻抗高,輸出阻抗小。電荷放大器具有輸入阻抗高,輸出電壓與壓電式傳感器電荷成正比、與反饋電容成反比;與電纜分布電容無關(guān);電壓放大器具有電路簡單,成本低,壓電式傳感器須與電纜配套使用。

　需要配合放大器使用的傳感器主要包括以下類型：1.壓力傳感器：常見的壓力傳感器有應(yīng)變式、壓阻式、電容式等。這些傳感器的輸出信號很小，需要通過放大器進(jìn)行放大。2.溫度傳感器：常見的溫度傳感器有熱電偶、熱敏電阻、熱電阻等。這些傳感器的信號也很小，需要使用放大器進(jìn)行放大。3.光學(xué)傳感器：包括光電管、光電二極管、光敏電阻等。這些傳感器的輸出信號也較小，需要通過放大器進(jìn)行放大。4.位移傳感器：包括電容位移傳感器、電感位移傳感器、激光干涉儀等。這些傳感器的輸出信號一般也需要通過放大器進(jìn)行放大。5.加速度傳感器：包括壓電加速度傳感器、電容加速度傳感器等。這些傳感器輸出的信號也較小，需要通過放大器進(jìn)行放大。